摘要：
300mm涂布成膜一體設備
此設備用于在玻璃基板（基板尺寸≤300×300mm）表面涂布工藝薄膜，隨后在減壓下進行結晶從而分離溶液中溶質和溶劑。
設備參數
| 序號 | 項目 | 參數 |
| 1 | 設備尺寸 | 4500×1200×2500mm |
| 2 | 設備重量 | 2000kg |
| 3 | 涂布有效寬度 | 300mm向下兼容 |
| 4 | 基材載片平臺 | 含真空吸附功能，孔徑1mm |
| 5 | 液體粘度 | 0.7-1000cp |
| 6 | 涂層厚度 | （干厚）20-2000nm（根據溶劑而定） |
| 7 | 狹縫調節范圍 | 0-20mm |
| 8 | 涂布頭 | SUS630材質，內部表面粗糙度Ra≤0.025μm |
| 9 | 涂布頭唇口直線度 | 刀口/工作面直線度≤±1um/0.1m |
| 10 | 涂布頭內槽容量 | 不高于5ml |
| 11 | 驅動方式 | 線電機/氣浮平臺（Y軸）、研磨級絲杠模組+伺服電機（Z軸） |
| 12 | 注液泵上料泵速度 | 0.5-80ul/s |
| 13 | 注液速度精度 | 優于0.1μL/s |
| 14 | Y軸移載部件速度 | Max500mm/s |
| 15 | 平臺平面度精度 | 優于±2.5μm |
| 16 | Y軸移載部件重復定位精度 | ±0.005mm |
| 17 | Z軸升降部件速度范圍 | 0-50mm/s |
| 18 | Z軸升降部件精度 | 定位精度2μm，重復定位精度2μm |
| 19 | 自動初效清洗 | 廢液槽，并含有廢液自動回收系統 |
| 20 | 防護罩部件 | 框架鈑金噴漆，機臺頂部配備FFU保持機內涂布部潔凈 |
| 21 | 機械泵抽速 | 60m3/h |
基板規格
| 序號 | 項目 | 標準 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 300×300mm以內 | 各邊±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | 1～3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允許彎曲 | 對角線方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 邊緣 | C角 | / |
