摘要：
ZMPS-SSG01-300氣氛退火設備
此設備同時具備了真空閃蒸和氣氛處理兩種功能，用戶只需要進行簡單的部件更換就可以實現功能切換。
設備參數
| 序號 | 項目 | 參數 |
| 1 | 設備尺寸 | 1000×800×1400mm |
| 2 | 設備重量 | 160kg |
| 3 | 腔體材質 | SUS310S不銹鋼 |
| 4 | 腔體內部空間尺寸 | 340×340×20mm |
| 5 | 適用基材尺寸 | 300×300mm以內 |
| 6 | 工作電源 | 220V |
| 7 | 機械泵 | 電壓及功率380V/2.2kW（單獨供電） |
| 8 | 真空泵抽速 | 60m3/h |
| 9 | 工藝艙室 | 采用氟膠圈密封，針閥手動調節泄氣速度；溫度最高300℃，控溫精度±1℃，溫度均勻性±5%。 |
| 10 | 真空測量 | 真空計測量范圍：1.0×10-1～1.0×105Pa |
| 11 | 工藝技術指標 | 抽空時間：10s到10Pa |
| 12 | 真空參數 | 極限真空≤8×10-1Pa |
基板規格
| 序號 | 項目 | 標準 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 300×300mm以內 | 各邊±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | 1～3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允許彎曲 | 對角線方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 邊緣 | C角 | / |
